當(dāng)同一光源的兩個(gè)或多個(gè)路徑長度稍有不同的光束疊加時(shí)，干涉儀可以利用此時(shí)產(chǎn)生的效應(yīng)工作。

所產(chǎn)生的光譜及其調(diào)制頻率包含了距離或?qū)雍駭?shù)據(jù)，具體情況取決于系統(tǒng)應(yīng)用的測量任務(wù)。

干涉型傳感器的優(yōu)勢

• 高速在線檢測，最高可達(dá) 70 kHz。
• 不受高溫、潮濕或震動(dòng)條件的影響，因此適用于惡劣的工業(yè)環(huán)境，即使在水、油或酸等液體中也沒有問題
• 適用于質(zhì)量保障、表面和厚度測量
• 光學(xué)技術(shù)是可以測量多層夾層玻璃的獨(dú)特方案
• 對 0.6 - 15,000 μm 的厚度測量很精確
• 適合紅外透射材料的厚度測量，例如在晶片檢查過程中的測量。
• 靜態(tài)或移動(dòng)測量點(diǎn) 
• 無源光學(xué)探頭 —— 結(jié)構(gòu)緊湊且無源、無磨損、無撕裂

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